证券时报e公司讯,泰晶科技消息,公司最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备—全自动晶圆调频及测选机,近日又取得新突破,该设备适用于光刻晶圆频率调整及分测,配合基于半导体技术的光刻制程量产及质量提升。这一设备的研制成功,不仅填补了行业空白,而且保证了关键性技术的保密性,为公司正在进行的大规模扩产提供了更优的方案;
公司 2014 年组建了国内同行业首家微纳米晶体加工技术重点实验室,2018 年成功使用双面光刻工艺实现 SMD 微型产品全域的量产, 2019 年实现小型号 M1612 WAFER 片的量产,成功开发半导体光刻工艺 KHz 产品小尺寸 K1610,实现了半导体光刻工艺在晶体技术应用的产业化。