说到光刻机,最正宗的还是奥普光电,肖特的供应商,也是德国卡尔蔡司间接供应商(蔡司镜头组供应ASML)。奥普主营产品包括光学晶体材料CaF2、BaF2、MgF2、LiF,这些都是可以制作光刻机物镜组的,其中CaF2是用来制作极紫外光光刻机物镜(CaF2镜片价格昂贵,每千克价值1万美元),奥普官网已明确说明公司CaF2晶体材料可用于紫外光刻。公司的K9光学玻璃、人造萤石(CaF2)等高端光学材料供应给肖特蔡司,而肖特蔡司是荷兰ASML光刻机透镜系统光学元件供应商。证明公司有能力生产高端光刻机所需的光学镜片材料。光刻机的光学原理与相机类似,玩过摄影的都知道,最贵的部分是镜头,镜头的核心是光学镜片。
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