异动
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luciz
2023-09-15 12:20:26
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@饭否:     第四代同步辐射光源就特么是为 EUV光刻而生的!1,同步辐射光源目前已经在建的是第四代。2,四代同步辐射光源的特点是: -占地小(当然还是很大的,足球场);-输入能量大为减少;-输出光源亮度更大(四代完全达到光刻需求);-频率可以精准控制,可
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