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半导体干法刻蚀设备测试方法征集,布局公司领先一步
希望的黎明终将到来
2023-11-16 14:11:33


【工信部就《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准公开征集意见】据工信部网站消息,根据标准化工作的总体安排,现将申请立项的《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准、《雪莲养护贴》等1项行业标准外文版项目和《环境污染防治设备 术语》等38项推荐性国家标准计划项目予以公示(见附件1、2、3),截止日期为2023年12月16日。

 

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公司开发的芯片铝制程无羟胺干法蚀刻后清洗液技术,突破了几十年来严重依赖羟胺这样一种全球只有一家生产供应商的困局,在全球铝制程干法刻蚀后清洗液率先实现了突破。同时,该技术也具有清洗效果优异,介质兼容性好,工艺窗口宽,使用寿命长等特点。未来将成为替代现有芯片铝制程清洗液市场很有发展潜力的一款产品。

 

 

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屹唐半导体采取自主研发、自主创新模式,以半导体设备国际技术发展趋势、客户需求为导向,依靠具有丰富经验的国际化研发团队,形成以研发、生产、市场一体化的创新机制,取得了集成电路制造领域干法去胶、快速热处理、干法刻蚀设备关键核心技术领域的重要成果,并在全球主要半导体生产国家及地区申请专利保护,把研发成果快速产业化。

 

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