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先进封装的隐形织匠——临时键合胶
炒股缘中
2024-06-20 11:53:16
半导体发展“芯”机遇下,市场对于产品高性能、微型化的需求愈来愈盛,先进封装解决方案应运而生。临时键合胶作为先进封装工艺中的重要材料,能够支撑、保护减薄至100μm以下的晶圆进行3D叠层封装,对于提高半导体制造的精度和良率至关重要。

全球范围内,布局临时键合胶市场的企业主要有美国3M、美国杜邦、美国道康宁、美国Brewer Science、日本TOK、英国Micro Materials等国际企业以及中国台湾达兴材料、中国大陆的鼎龙股份、飞凯材料、未上市公司深圳化讯、浙江奥首、深圳先进电子材料、华进半导体等。受技术发展影响,目前全球市场由美国3M与中国台湾达兴材料两家企业占据主导地位,合计市场占有率已超40%,行业集中度较高。

 近年来,计算机、通讯、汽车电子、航空航天工业和其它消费类产品对微电子封装提出了更高的要求,即更小、更薄、更轻、多功能与低成本。先进封装作为芯片性能增强和散热、可靠性的解决方案,也由此应运而生了不少应用领域。

临时键合胶(Temporary Bonding Adhesive,TBA)是把晶圆和临时载板粘结在一起的中间层材料,热稳定性、化学稳定性、粘接强度、机械稳定性、均一性等是临时键合胶的关键选择因素。根据解键合方式的不同,可分为热解胶,机械解键合胶,激光牺牲层,化学解键胶。

 为了满足科技发展下对于电子产品的小型化需求,芯片微型化也成为了当今半导体行业的发展趋势。半导体工业需要将器件晶圆减薄至100μm以下,将薄晶圆之间以硅通孔(Through-Silicon Via,TSV)垂直互连,实现高密度3D叠层封装,以突破摩尔定律。超薄晶圆具有柔性、易碎性、容易翘曲和起伏等特点,因此通常先将器件晶圆用中间材料键合到较厚的载体上,经过背部减薄、TSV开孔工艺、形成重布线层和内部互连制作之后,再输入外界能量(光、电、热及外力)使粘结层失效,之后将器件晶圆从载体上分离开来 ,此过程即为晶圆的临时键合工艺。其中,用于固定薄晶圆的键合胶是临时键合工艺成功的关键。

      临时键合胶量产的难点也不仅仅局限于技术层面,它的产业化问题突破也同样需要跨学科的合作、持续的研发投入以及行业标准的同步更新。因此,临时键合胶的完全本土化落地,绝非一日之功。

针对目前半导体制造中临时键合工艺的应用,飞凯材料现已开发出包含键合胶、光敏胶、清洗液的整套临时键合解决方案,该方案支持热拆解、机械拆解以及激光拆解。

飞凯材料提供的临时键合方案对基材有很好的吸附力,使用温度高达350°C,同时耐Fan-out、TSV工艺中的有机溶剂、酸、碱等化学药水,具有很好的稳定性和安全性。

同时鼎龙股份于去年接受调研时也表示公司布局的临时键合胶产品在国内某主流集成电路制造客户的验证及量产导入工作基本完成,并预计于24年获得首笔订单

作者在2024-06-20 11:55:09修改文章
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  • 韭久为功
    蜜汁自信的老韭菜
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  • 韭菜园丁丁
    明天一定赚的萌新
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    06-20 12:39
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