英诺激光最新调研实锤EUV光源

公司大能量、高重频超快激光产品是支撑EUV光源预脉冲的核心技术。

德国通快是是全球唯一的EUV光刻机激光源供应商，也是全球唯一一家可量产千瓦级产品的公司，国内的该激光器的产业化尚处于空白。

英诺激光作为国内固体和超快激光器龙头企业，突破了多项关键技术，助推EUV光刻机激光光源国产化。
英诺激光：已实现批量供应碳化硅退火制程的激光器

$英诺激光(sz301021)$ 接受机构调研时表示，公司是行业内率先提出工艺示范线思路的公司之一，是行业内率先提出采用紫外和深紫外固体激光器取代准分子激光器方案的公司之一并取得了初步结果，是行业内有望从激光器到激光剥离、巨转、修复、焊接整线设备实现完全自主研发的公司之一。接下来，公司计划完成工艺示范线的全面研发目标，同时与意向客户配合进行工艺开发。半导体领域，公司已实现批量供应碳化硅退火制程的激光器，以国外知名半导体公司为主。同时，公司持续开拓用于硅基半导体的激光器市场，不断加强与国内外半导体厂商的合作。