28nm国产线设备供应商光刻:上海微电子涂胶显影:芯源微去胶:屹唐半导体(科创板IPO辅导中)刻蚀:中微公司,北方华创CVD:沈阳拓荆(科创板IPO辅导中)PVD:北方华创炉管(热处理):北方华创CMP:华海清科(科创板IPO已申报)清洗:至纯科技离子注入:万业企业,中科信量测:上海精测(精测电子),中科飞测中微公司28nm国产线承担介质刻蚀设备,占价值量的10%+,潜在供应硅刻蚀设备,合计占价值量20%+。参股公司沈阳拓荆承担PECVD设备,占价值量10%+。刻蚀:正在研发更关键和高难度工艺,CCP10+亿元,NAND128层极高深宽比、logic先进大马士革工艺等,ICP2+亿元,保持每年翻倍以上增长,介质+硅刻蚀工艺,NAND台阶工艺进展顺利,另外CCP和ICP在DRAM客户进展顺利。预计50%以上增长,20亿元收入,未来3-5年复合50%左右增长。订单交期3.5-4个月,验收1.5个月。产能:11个组装工作台,单台0.5个月,单月产能22台。单腔750万元。MOCVD:Q1收入1.3亿元,同比+70%,主要是深紫外MOCVD,毛利率回归30%-35%,Mini LED已经发货,客户验收中,新的订单在谈,近期正式发布Mini产品,今年打基础,明年快速放量。预计今年5亿元收入。订单交期6个月,验收3-6个月。LED单腔700+万元,Mini LED 1000+万元。新产品:CVD+EPI研发团队已组建,研发进展顺利,LPCVD与EPI预计22年正式推出设备产品,客户验证顺利的话,最快22底开始确认部分收入。订单:20年全年订单出货比Book to Bill ratio 1.2-1.3,21Q1达到1.7,新签订单增长超预期。参股:投资上海睿励,沈阳拓荆,理想万里晖等。盈利预测:21年收入30亿元,扣非3-4亿元;25年100+亿元,净利润25-30亿元。市值700亿元。北方华创28nm国产线承担硅刻蚀、金属刻蚀设备+PVD+炉管(热处理)等,占价值量的20%。北方微电子:泛半导体设备设备预计收入55-60亿元,其中IC设备30-40亿元,光伏电池片设备10+亿元,功率半导体5-10亿元;真空设备10+亿元,电子元器件12+亿元盈利预测:预计21年收入80亿元,归母净利润8亿元,PE 100倍。市值930亿元。至纯科技28nm国产线承担单片湿法清洗设备+高纯工艺,占价值量的10%+。单片湿法清洗设备合计10台订单,价值量约3亿元,平均单价约0.3亿元,8腔普通工艺单价350万美元,12腔普通工艺单价500万美元。7-12月集中交付,计划年内全部完成交付。20年新签订单19.6亿元,其中半导体板块订单13.6亿元,半导体高纯工艺订单8.3亿元,湿法设备订单5.3亿元(单片3.66亿元+槽式1.64亿元)。21年1-4月新签订单超过9.5亿元,全年目标25亿元。高纯工艺预计收入10+亿元;湿法清洗设备预计收入约6亿元,单片设备3亿元,槽式设备3亿元,槽式设备20年交付30台,今年单月交付3-4台;光传感及光器件预计收入约4亿元。盈利预测:预计21年收入20亿元,净利润3亿元,扣非净利润2.3亿元。市值110亿元,PE 40倍左右。芯源微28nm国产线承担涂胶显影设备,占价值量的4%。前道涂胶显影:inline设备,i-line涂胶显影机在华力集成已经通过验收并取得重复订单,在长江存储处于量产验证阶段,KrF涂胶显影在合肥长鑫验证,ArF涂胶显影在上海积塔验证;offline设备,BARC、PI涂胶显影在华力集成已经通过验收并取得重复订单,在中芯北方年内确认收入并取得重复订单。前道干法物理清洗:采用spin scrubber技术。客户包括华力集成、中芯绍兴、士兰集科、青岛芯恩等,在干法物理清洗领域累计订单40+台。盈利预测:预计21-22年收入5.9/9亿元,净利润0.8/1.3亿元,市值85亿元,PE 100/65倍。
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