（1）MEMS 的行业规模

20 世纪 80 年代至 90 年代，Honeywell 利用大型刻蚀硅片结构和背蚀刻膜片制作了集成压力传感器。伴随着汽车行业的发展，MEMS 行业迎来了第一次产业化浪潮。20 世纪 90 年代末至 21 世纪初，手机、小家电等消费电子行业需求发展，带动了 MEMS 行业发展的第二次产业化浪潮。2010 年至 2020 年，物联网、可穿戴设备等应用的发展助推了 MEMS 行业的第三次产业化浪潮，使得 MEMS 行业市场规模逐年快速增加。2020 年以来，随着自动驾驶、5G 发展以及物联网普及，MEMS 行业的发展空间被进一步拓宽，通过提升 MEMS 器件各项性能指标，以满足更小体积、更低能耗、更高性能的使用需求。

之前根据 YoleIntelligence 的统计数据，MEMS 的全球销售量从 2018 年的 201.68 亿颗增加至 2021 年的 303.59 亿颗，预计 2027 年将达到 487.08 亿颗，2021 年至 2027 年复合增长率达 8.20%。MEMS 的全球市场规模从 2018 年的 99.94 亿美元增加至 2021 年的 135.95 亿美元，预计 2027 年将达到 222.53 亿美元。

根据 YoleIntelligence 的统计数据，消费电子、汽车电子、工业控制为 MEMS 的主要应用领域，2018 年至 2027 年期间上述三类市场占 MEMS 总市场规模的比例一直在 80% 以上，其中消费电子占比最高，占比一直保持在 50% 以上。从全球竞争格局的角度看，目前少数巨头企业占据了全球 MEMS 行业的主导地位，2021 年前十大 MEMS 厂商市场占比约 50%，市场集中度较高。

（2）惯性传感器的行业发展情况

根据 YoleIntelligence 的统计，全球 MEMS 惯性传感器的市场规模从 2018 年的 28.31 亿美元、31.21 亿颗增长至 2021 年的 35.09 亿美元、39.39 亿颗，预计该市场将于 2027 年增长至 49.43 亿美元、60.60 亿颗，2018 年至 2027 年销售额及销售量的复合增长率分别为 6.39% 和 7.65%。其中，全球 MEMS 加速度计的市场规模从 2018 年的 9.14 亿美元、10.23 亿颗增长至 2021 年的 12.19 亿美元、15.37 亿颗，预计该市场将于 2027 年增长至 16.41 亿美元、24.28 亿颗。

从 MEMS 惯性传感器的市场结构来看，MEMS 加速度计、磁力计和 IMU 的市场持续增长，MEMS 陀螺仪的市场呈现逐年萎缩态势，主要原因系独立的 MEMS 陀螺仪在高端消费电子和汽车电子市场中逐渐被 IMU 所替代。在消费电子领域独立的 MEMS 陀螺仪主要用于拍照防抖、屏幕锁屏、定位导航、体感游戏等功能；在汽车电子领域 MEMS 陀螺仪主要用于对车辆位置、行车轨迹进行监测，也可以对车辆姿态进行管理。

根据 YoleIntelligence 的统计和预测，由于 IMU 集成了多种 MEMS 惯性传感器的功能，且在功耗、尺寸和信号处理上更有优势，IMU 在汽车电子稳定控制系统和高端消费电子领域也对独立的 MEMS 惯性传感器进行了替代。

（3）MEMS 压力传感器的行业发展情况

MEMS 压力传感器是将压力转换为电容、电压、电流输出的器件。根据 YoleIntelligence 的统计数据，2021 年压力传感器是 MEMS 传感器中销售额最高的细分市场，也是销售量第二大的细分市场，仅次于硅麦克风。MEMS 压力传感器的市场规模从 2018 年的 14.72 亿颗、17.63 亿美元增加至 2021 年的 16.05 亿颗、20.04 亿美元，预计将于 2027 年增长至 25.35 亿颗、26.24 亿美元。

随着人形机器人和无人驾驶的技术发展，2027年市场规模或远超预期！