无名小韭37610328
2023-10-28 22:07:56
科益虹源负责光源系统，国望光学负责物镜系统，国科精密负责曝光光学系统，华卓精科负责双工作台，启尔机电负责浸没系统
@剑道：
根据“02专项计划”，我国光刻机研发工作亦采用类似“Out House”的研发模式，上海微电子负责整机的设计与集成，另有五家企业各自负责对光刻机不同核心零部件的研发，科益虹源负责光源系统，国望光学负责物镜系统，国科精密负责曝光光学系统，华卓精科负责双工作台，启尔机电负责浸没系统。值得一提的是，这五家
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