上海微电子装备 负责光刻机设计和总体集成,(张江高科)科益虹源 提供光源系统,(麦克奥迪)国望光学 提供物镜系统,(奥普光电)国科精密 提供曝光光学系统,(麦克奥迪)华卓精科 提供双工件台,启尔机电 提供浸没系统。光刻机清洗:蓝英装备光学镜头:波长光电曝光成像的关键模块:茂来光学光刻胶上游材料:强力新材凑字数凑字数凑字数凑字数凑字数……凑字数凑字数凑字数凑字数凑字数……凑字数凑字数凑字数凑字数凑字数……凑字数凑字数凑字数凑字数凑字数……凑字数凑字数凑字数凑字数凑字数……凑字数凑字数凑字数凑字数凑字数……凑字数凑字数凑字数凑字数凑字数……凑字数凑字数凑字数凑字数凑字数……凑字数凑字数凑字数凑字数凑字数……
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