参考消息网10月20日报道 据日本《朝日新闻》10月19日报道,日本佳能公司历时10年开发出的新技术产品——可用于半导体制造的一种光刻设备——已经正式开售。日本制造企业曾经垄断光刻机市场,但后来被荷兰的阿斯麦(ASML)碾压。上述新设备能否动摇阿斯麦的霸主地位将备受关注。
佳能公司18日在横滨市举行了技术展示会,展示了新的“纳米压印”光刻设备。这是一种在半导体晶圆上绘制精密电路的设备。