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无风不起浪
2024-11-11 17:15:43
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@韭菜炒牛肉:
电子束检测设备是芯片制造装备中除光刻机之外技术难度最高的设备类别之一。它深度参与光刻环节,对制程节点敏感,对最终产线良率起到至关重要的作用。其核心模块为电子光学系统(EOS),决定设备的成像精度和质量,进而决定设备的性能。 据尹志尧介绍,中微公司的等离子体刻蚀机,包括高能CCP及ICP刻
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