3.3、 徐州博康：某大型企业参股的中国光刻胶领域巨头企业 

3.3.1、徐州博康是中国国内光刻胶领域领先企业徐州博康成立于2010年3月，主要产品包括光刻胶单体、光刻胶、医药中 间体及其他光固化材料。徐州博康作为国产光刻胶行业领先企业，专注于光刻胶 原材料到成品的自主研发及生产，实现了从光刻胶单体——光刻胶树脂——光敏 剂——光刻胶完整的产业链国产化自主可控；近年来先后获得“国家知识产权优 势企业”、“国家专精特新小巨人企业”、“江苏省民营科技企业”、“江苏省 重点科技文化企业”、“江苏省千企升级入库企业”等荣誉称号，是国家高新技 术企业、国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（简称 “02重大专项”）之“先进光刻胶产品开发与产业化”项目中课题“ArF光刻 胶单体产品的开发与产业化”承担单位。 截至2022年6月末，徐州博康及其子公司拥有发明专利50余项。徐州博 康研发中心位于上海市松江区，实验室总面积8,000平方米，生产基地位于江苏 邳州经济开发区化工园区，占地200亩。徐州博康总人数超400人，其中上海 研发中心200余人，研发人员中海外归国技术专家18人，博士学历研发人员占 比25%，硕士占比35%。徐州博康创始人、董事长傅志伟毕业于南京大学生物 科学与技术系，复旦大学EMBA，入选国家高层次人才特殊支持计划——“万人 计划”，江苏省政协委员，江苏省优秀企业家，作为项目（课题）负责人承担了 02 重大专项等多个国家、省、市重大项目。 敬请参阅最后一页特别声明 -17- 证券研究报告 华懋科技（603306.SH） 经过多年自主研发，徐州博康生产的光刻胶单体（光刻胶原材料之一）已经 成为JSR株式会社、日本东京应化工业株式会社等日韩光刻胶知名企业的稳定 供应商；医药中间体系用于药品合成工艺过程中的化工原料或化工产品，从事该 类业务主要系部分医药中间体在原料、制备工艺、产成品方面与光刻胶单体类似， 可充分利用徐州博康生产基地产能并提升精细化工工艺水平；徐州博康光刻胶产 品定位于中高端半导体芯片制造领域，目前已经实现向部分国内射频芯片IDM 厂商及科研院所量产供货，在国内主要晶圆制造厂处于客户验证阶段。2022年 1 月，徐州博康邳州光刻胶研发制造基地取得生产许可证，光刻胶研发、制造能 力大幅提升。 光刻胶产品方面，徐州博康相关技术和工艺不断突破： 

 （1）Arf光刻胶有23款处于研发改进阶段，其中最新立项Arf湿法类产品 9 款，可应用于28-14nm制程节点；有6款Arf光刻胶正在客户端进行产品验 证导入，品种类涵盖55nm、40nm、28nm及以下的关键层工艺以及LOGIC， 3D NAND，DRAM等应用领域；2022年上半年形成销售的Arf光刻胶有2款。 

 （2）Krf光刻胶有23款处于研发改进阶段，其中高分辨的Krf光刻胶有2 款，可兼容L/S、C/H图案，分辨率可达120nmCD，应用于14nm制程中；KrF 厚胶（2.5-15um）方面主要针对高深宽比及高台阶覆盖的应用；有8款Krf光 刻胶正在客户端进行产品验证导入，产品种类涵盖55nm、40nm、28nm及以 下的关键层工艺以及集成电路、分立器件、传感器等应用领域；2022年上半年 形成销售的Krf光刻胶有13款。 

 （3）I线光刻胶有15款处于研发改进阶段，主要为化学放大型光刻胶，相 对于传统光刻胶，化学放大型光刻胶具有更高的分辨率、对比度和深宽比。有9 款I线光刻胶正在客户端进行产品验证导入，产品种类涵盖高能注入、抗刻蚀等 关键层工艺以及 PAD、lift-off等应用领域。2022年上半年形成销售的I线光刻 胶有9款。 

 （4）电子束光刻胶在销售的有3大种类，包括PMMA体系、PHS、HSQ 等，现已为数十家企业和高校提供标准化、定制化的电子束光刻胶产品。 光刻材料领域，徐州博康相关技术不断取得重大进展： 

 （1）光刻胶单体已经研发60多款，2022年以来新开发15款单体，其中8 款属于Arf湿法光刻胶单体；

（2）光刻胶树脂已经研发50多款，2022年以来 新开发13款树脂，其中3款属于Arf湿法光刻胶树脂，3款属于高端Krf光刻 胶树脂；

（3）光敏剂已经研发超过100款，2022年以来新开发30款光敏剂， 其中5款针对Arf湿法光刻胶特别开发，8款针对高端Krf光刻胶开发。 徐州博康现有股东结构为：东阳凯阳持有26.21%，创始人傅志伟直接持有 22.59%股权，并间接持有公司14.23%股权，某大型企业旗下的深圳哈勃科技投资合 伙企业（有限合伙）持有9.80%，上海金浦国调并购股权投资基金合伙企业（有 限合伙）持有2.18%，其他13名股东合计持有24.99%股权。