光k机
双工件台:华卓精科
光源系统:福晶科技,科益虹源,波长光电
照明系统:腾景科技,炬光科技,赛微电子
物镜系统:麦克奥迪,奥普gd,国望gx,福光股份,茂莱光学
曝光系统:国科jm
光栅系统:苏大维格,上光所
浸没系统:启尔机电
设计与整机集成:上海微电子,张江高科
周边配套:美埃科技:洁净室关键设备
同飞股份:液体恒温设备
蓝英装备:jm清洗
富乐德:jm洗净
金力泰:零部件表面处理
光刻胶:南大光电,雅克科技,飞凯材料,容大感光,华懋科技,广信材料,晶瑞电材,上海新阳,彤c新材
光刻胶电子化学品:安集科技:光刻胶去c剂
鼎龙股份:光刻胶清洗液
江化微:光刻胶配套试剂
高盟新材:UV树脂
q力新材:光引发剂
怡达股份:丙二醇甲醚
格林达:显影液
常青科技:2-乙x基萘
扬帆新材:光引发剂
盛剑环境:光刻胶剥离液
新宙邦:半导体光刻胶氟单体
光刻气体:华特气体,金宏气体,中船特气
光掩膜版:清溢光电,路维光电,冠石科技,传芯半导体,菲利华,华润微,石英股份
检测量测:精测电子,上海睿励,中科飞测,东方晶源
涂胶显影:芯源微,盛美上海