光刻机概念核心企业
(一)整机
(1)张江高科:持股上海微电子10.779%的股份;
(2)上海电气:母公司为上海微电子第一大股东;
(3)东方明珠:通过间接持股上海微电子;
(4)奥普光电:长春光机所为公司实际控制人,长春光机所生产光刻机。
(二)光源
(1)波长光电:光刻机平行光源系统;
(2)茂莱光学:精密光学器件已应用于国产光刻机;
(3)福晶科技:全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商。
(三)光学器件
(1)腾景科技:多波段合分束器已进入微电子供应链;
(2)苏大维格:向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品;
(3)炬光科技:提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器;
(4)京华激光:控股国外公司在光刻机微结构光学方面实力较强;
(5)晶方科技:下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。
(四)洁净设备
(1)蓝英装备:精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户;
(2)美埃科技:提供最高洁净等级标准的设备,国外企业供应商白名单;
(3)国林科技:产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。
(五)温控
(1)海立股份:微电子装备集团的系统级合作商
(2)同飞股份:液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制
(六)物镜
赛微电子:光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。
(七)控制器
电科数字:子公司可供货光刻机控制器。
(八)结构件
金力泰:超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理;子公司是上海微电子供应商。
(九)维修服务
东方嘉盛:提供光刻机寄售维修服务。
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