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2024-09-17 23:30:55
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@戈壁淘金:
工信部官方文件披露国产ArF光刻机进入推广应用阶段。9月9日,工信部公布《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》,其中集成电路生产装备章节列示了氟化氪(KrF)光刻机、氟化氩(ArF)光刻机两项,意味着国产KrF、ArF光刻机已完成首台生产、进入推广应用阶段。 工信部列示的国产Ar
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