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小亿
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2023-09-12 22:08:19
光刻机
@红研记:
光刻机半导体工业皇冠上的明珠 光刻机是制造芯片的核心装备,除了ASML,日本尼康也有光刻机业务,但主流的深紫外线光刻机(DUV)、极紫外线光刻机(EUV)几乎被ASML垄断,其中顶尖的EUV光刻机只有ASML可以出货。 DUV光刻机主要用于14nm及以上制程,但多次曝光也可做7n
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