光刻胶专用化学品属于光刻胶制备的上游产业，它的基本组分有以下几种，分别为光引发剂（光增感剂、光致产酸剂）、溶剂、成膜树脂及添加剂（助剂、单体等）。以ArF光刻胶各组分质量占比为例，它的成膜树脂占5-15%，光引发剂占0.05-10%，其余添加剂占0.01-2%，溶剂占73-95%。目前中国企业很难完

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