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2023年4月，上海积塔、华虹半导体、润鹏半导体、新昇半导体等企业合计招标743台设备，数量高于3月的321台，环比增长131.46%。其中，光刻设备9台，刻蚀设备37台，薄膜沉积23台，工艺检测53台，离子注入3台，CMP 23台，清洗设备21台，涂胶显影13台。 从招标企业来看，上海积塔新增设备

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