【海立股份：为上海微电子提供光刻机冷却系统且与上海微电子同一母公司】海立股份为上海微电子提供封装光刻机冷却系统10月26日下午，海立集团与上海微电子装备集团举行战略合作协议签约仪式，微电子装备集团董事长干频指出，希望双方以封装光刻机的冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升

#波长光电 ：光刻机+激光，逻辑硬。在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。注意是已交付。工业激光加工和红外热成像领域积累深厚持续研发拓展新市场波长光电是一家精密光学元件、

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