1:基金加持
2:光刻胶量产了,已经不再是概念。
3:牵头单位,国家科技重点
4:专家审核通过,建议抓住机遇扩大产能
南大光电还能走多远。
公司称,作为牵头单位,承担的国家科技重大专项(02专项)“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”之“先进光刻胶产品开发与产业化”项目(项目编号:2018ZX02402,以下简称“项目”或“本项目”),今日收到极大规模集成电路制造装备及成套工艺实践管理办公室下发的项目综合绩效评价结论书,项目通过了专家组验收。
专家组认为,光刻胶是集成电路生产过程中的关键材料,通过本项目的实施,掌握了ArF干式和浸没式系列光刻胶产品的原材料制备、配胶、分析检测、应用验证等关键技术,在知识产权和人才培养等方面取得重要进展。建成了ArF光刻胶产品(包括干式和浸没式)的质量控制平台、年产5吨的干式ArF光刻胶及年产20吨的浸没式ArF光刻胶产业化生产线;实现ArF光刻胶产品销售,完成了任务合同书规定的主要考核指标等。这是我国集成电路关键材料自主创新的一个重要成果。
专家组还认为,宁波南大光电已建成年产25吨ArF光刻胶产业化基地,具备进一步扩大生产的能力,建议抓住机遇,尽快扩产。