异动
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希望
2021-06-18 19:35:02
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@韭菜斌: 6月10号上海光刻机所取得重要进展,14日起媒体上陆续发布:根据外媒最新的报道,上海微电子全新一代光刻机预计在2021年年底或2022年初量产下线,其采用与ASML DUV光刻机相同的光源技术,不过是国产的。 这种光源其实是科益虹源研发的,能够用在DUV设备上 。也就是说,上海微电子的全新
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