高端光刻胶国产化率不足5%，在外部产能不足的刺激下，随着KrF、ArF光刻胶研发完毕，光刻胶将真正进入国产替代的高峰期。
受益于国内晶圆厂产能扩充和国产替代加速，持续看好：晶瑞、彤程（科华）、华懋（博康）、南大光电、上海新阳。
晶瑞股份：KrF完成中试；ArF研发工作正式启动；2020年光刻胶创新高达到1.8亿元。
彤程新材：收购半导体光刻胶龙头北京科华，产品覆盖KrF、i线、g线，拥有百吨级248nm光刻胶生产线，正在攻克ArF光刻胶。
华懋科技：投资博康布局光刻胶，上游材料技术达到先进水平，成功开发或测试KrF光刻胶、ArF光刻胶产品，新建年产1100吨光刻材料项目。
南大光电：获得国家02专项Ar