努力思考
2023-09-07 08:15:59
[这波操作很溜]
@戈壁淘金：
光刻机路线
1、上微（中科院）走ASML路线，全程规避美规。采用1X千瓦/50Khz的超高重复频率二氧化碳激光打靶。
2、广智院与华中科技大学，采用分时高功率光纤激光器射击液态锡靶的方式绕开超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器这个路线，截止2022年他们做出了40Khz的液态锡滴发生器并且打靶产生了
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