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干法刻蚀不可或缺的一环，刻蚀清洗液——上海新阳
挖呀挖呀挖634
2023-11-16 13:11:46

工信部就《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准公开征集意见】财联社11月16日电，据工信部网站消息，根据标准化工作的总体安排，工信部现将申请立项的《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准、《雪莲养护贴》等1项行业标准外文版项目和《环境污染防治设备 术语》等38项推荐性国家标准计划项目予以公示，截止日期为2023年12月16日。其中，关于《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》，主要起草单位包括中国电子科技集团公司第四十八研究所，中国电子技术标准化研究院，湖南楚微半导体科技有限公司，中芯国际集成电路制造有限公司，北京北方华创微电子装备有限公司，中微半导体设备（上海）有限公司，合肥晶合集成电路股份有限公司等。


干法刻蚀之后，紧接着就需要用清洗液对刻蚀后残留物进行完全去除，保护产品，保证质量，是不可或缺的一环。

 

 

300236上海新阳

公司开发的芯片铝制程无羟胺干法蚀刻后清洗液技术，突破了几十年来严重依赖羟胺这样一种全球只有一家生产供应商的困局，在全球铝制程干法刻蚀后清洗液率先实现了突破。同时，该技术也具有清洗效果优异，介质兼容性好，工艺窗口宽，使用寿命长等特点。未来将成为替代现有芯片铝制程清洗液市场很有发展潜力的一款产品。

极大预期差！

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    自学成才的韭菜种子
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    2023-11-16 13:20
    还有凯美特气等特殊气体
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  • 道大于术
    自学成才的韭菜种子
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    2023-11-16 13:19
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