凯世通的低能大束流离子注入机iStellar-500系列产品采用“通用平台+关键技术模块”研发模式，快速迭代升级并拓宽离子注入机产品线，覆盖不同芯片对离子注入的需求，定位于为客户提供更高可靠性、更低拥有成本的产品，并具有良好的产线工艺匹配能力和广泛的制程覆盖能力。另一款高能离子注入机设备iStellar-HE2000则采用了高压加速、高注入角度精准度、纳米级颗粒污染控制等关键技术，满足芯片制造的高能离子注入需求。

　证券时报e公司讯，近日，上海凯世通半导体股份有限公司再次获得一家12吋主流晶圆厂客户的低能大束流离子注入机复购订单。该重点客户自去年一季度起已多次向凯世通采购设备，累计下单总数超过10台。