国家大基金三期的注册资本高达3440亿元，超过了前两期的总和，显示了国家在科技创新领域的巨大投入和坚定决心。通过地方政府、社会资本、企业自身现金流和银团信贷的多轮杠杆，有望撬动超过1万亿的投资额，进一步推动国内科技创新和产业升级。国家大基金三期在光刻机等工业母机等关键领域展开了针对性的布局，旨在突破卡脖子这些领域的核心技术瓶颈，推动国内相关产业的发展。

光刻机作为半导体芯片制造的核心设备之一，其研制工作非常庞大且复杂，需要众多行业和国家的合作与支持。国家大基金三期的成立和投入，有望为我国在光刻机领域取得重大突破提供有力支持。
光刻机概念目前位置在波段横盘低点，找几个参考，
张江高科，地产+光刻胶概念，创始于1996年4月18日，公司主营业务为受让地块内的土地转让、房产开发与销售、房产租赁、数据通信服务，创业投资。参股公司上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE）主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务.
茂莱光学，光刻机零部件+精密光学器件+无人驾驶概念，国内领先的工业级精密光学供应商，极少数能为光刻机、基因测序仪等高端仪器提供光学元件的企业，公司主营业务为专注于精密光学器件、光学镜头和光学系统的研发、设计、制造及销售。公司产品线涵盖精密光学器件、高端光学镜头、先进光学系统等产品；产品广泛应用于工业测量、半导体、生命科学、无人驾驶、生物识别、AR/VR检测等领域。
福晶科技，光刻光源+华为合作+光通讯，全球最大LBO、BBO公司，主营业务为主要从事晶体元器件、精密光学元件和激光器件等产品的研发、生产和销售。公司产品线涵盖晶体元器件、精密光学元件、激光器件等产品；产品广泛应用于工业制造、通讯、汽车生产、电子和半导体等领域。
奥普光电，光刻机+光栅编码器+机器人概念.光电测控仪器行业龙头，市占率超30%，公司产品线涵盖光电测控仪器、光栅传感器等产品；产品广泛应用于航空航天、医疗器械、工业自动化等领域。近年来，公司业务结构、营业收入、归母净利润、毛利率与净利率持续跟进，公司控股股东中科长春光机所承担EUV光刻机研发任务，已取得包括核心光源系统在内的多项突破，公司是旗下唯一上市企业。2024年6月3日互动：目前公司加工500mm口径球面透镜表面粗糙度优于0.5纳米。
苏大维格，国内领先的微纳结构产品制造和技术服务商，通过微纳光刻机切入AR领域，公司主营业务为主营业务包含微纳结构产品制造和技术服务以及反光材料两大板块。公司产品线涵盖微纳光学产品、反光材料、设备等产品；产品广泛应用于公共证卡、烟酒包装、化妆品包装、消费电子设备、机动车、公共基础建设等领域。
晶方科技：荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一，公司产品线涵盖电子元器件等产品；产品广泛应用于手机、安防监控、身份识别、汽车电子、工业自动化、车用智能交互等领域。