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造不成光刻机,就造一个光刻工厂!
《物理学报》上有这样一篇论文:《稳态微聚束加速器光源》,这篇论文提出了一种创新的光刻机发展路径:“SSMB-EUV”光刻机。
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目前光刻工厂是我们的出路
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国内同步辐射光源可实现EUV弯道超车
清华大学合作团队在《自然》发表论文,报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(Steady-state microbunching,SSMB),基于SSMB原理,能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射,波长可覆盖从太赫兹到极紫外(EUV)波段。
大功率的EUV光源是EUV光刻机的核心基础,基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率,并具备向更短波长扩展的潜力,为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走,基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。
000962东方钽业的铌超导腔作为粒子加速器的核心部件,被广泛应用于同步辐射光源、自由电子激光、散列中子源等大科学装置。
清华大学的资料,其中吹的是东方钽业。
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清华大学介绍ssmb-euv的项目建设,光刻工厂重点是 稳态微聚束极紫外光源
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极紫外光源的中标单位,铁证了。那中标单位是谁?
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