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造不成光刻机，就造一个光刻工厂！

《物理学报》上有这样一篇论文：《稳态微聚束加速器光源》，这篇论文提出了一种创新的光刻机发展路径：“SSMB-EUV”光刻机。

目前光刻工厂是我们的出路

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国内同步辐射光源可实现EUV弯道超车

清华大学合作团队在《自然》发表论文，报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”（Steady-state microbunching，SSMB），基于SSMB原理，能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射，波长可覆盖从太赫兹到极紫外（EUV）波段。

大功率的EUV光源是EUV光刻机的核心基础，基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力，为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走，基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。

000962东方钽业的铌超导腔作为粒子加速器的核心部件，被广泛应用于同步辐射光源、自由电子激光、散列中子源等大科学装置。

清华大学的资料，其中吹的是东方钽业。

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清华大学介绍ssmb-euv的项目建设，光刻工厂重点是 稳态微聚束极紫外光源

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极紫外光源的中标单位，铁证了。那中标单位是谁？

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end