1、半导体清洗设备：涵盖槽式和单片式，28nm节点获得全部工艺订单。2022H1半导体清洗设备实现收入4.66亿元，同比+73%；2022H1新增订单8.06亿元，同比+87%，2022全年新增订单目标20亿元，同比+50%以上，持续快速放量。客户层面，仍以逻辑芯片和特色工艺为主，存储客户为2022H2开拓重点。

2、高纯工艺系统： 2021年公司高纯工艺系统实现营业收入10.8亿元，2012-2021年CA­GR达到14%，稳健增长，但仍远小于帆宣科技（2021年79亿元）等海外龙头。2022H1新接订单15.6亿元，受益于中国大陆半导体、光伏等领域的大规模扩产，公司具备持续扩张的条件。

3、服务业务：1）晶圆再生：公司合肥一期规划产能7万片/月，2023年达产；二期规划产能14万片/月，具备明显先发优势。2）大宗气体：可为用户提供至少15年的半导体级高纯大宗气体整厂供应。

4、零部件：公司研发重点集中在湿法设备的泵类、阀类、腔体类等，以及gas li­ne零部件（特殊阀件、管件等）。公司自制零部件不仅应用于整机自供，还可以单独销售，将进一步打开成长空间。

5、我们预计2022年半导体清洗设备收入12亿+，给22年12倍PS，对应市值144亿+；高纯工艺＋光传感器2022年预计3亿利润，给予20倍PE，对应市值60亿，仅看22年业绩公司市值200亿+，短期空间60%+，半导体设备里极具性价比标的，当前位置强烈推荐。