半导体设备上市公司大部分是688的，我买不了，结合形态和筹码，我挑选了几个主板和创业板的：
1、至纯科技。清洗设备，市值130亿，筹码较为集中，日线macd刚从水上来到0轴，昨日刚好回踩120日均线；
2、华亚智能。生产半导体设备的精密金属结构件，也受半导体设备的利好，另外还生产逆变器的金属结构件。流通市值只有19亿，股性好；
3、万业企业。离子注入机+房地产，流通市值188亿，构筑平台有一段时间了，突破平台为大概率事件；
4、北方华创。这不用说什么，国产设备龙头，吃肉是没问题，只是弹性可能不是那么大。

下面是券商研报的部分摘选：

我国已成为全球最大的终端消费和制造中心，全球半导体产业向中国大陆转移，国内晶圆厂商的大幅扩产，极大地拉动国内半导体设备需求，助推国产替代进程。从自身来看，国内半导体设备厂商持续取得突破，已实现28nm制程以上工艺技术覆盖，还有部分厂商技术达到国际先进水平：
中微公司的 CCP 刻蚀设备已经可以覆盖5nm以下的逻辑芯片以及128层3DNAND产线；北京屹唐干法去胶设备用于90nm到5nm逻辑芯片、1y到2x纳米系列 DRAM 芯片以及32层到128层3D闪存芯片制造中；

盛美上海全球首创 SAPS 、 TEBO 兆声波清洗技术和 Tahoe 单片槽式组合清洗技术， SAPS 清洗设备取得海力士的重复订单；

拓荆科技的 PECVD 也已开展10nm及以下制程产品验证测试。

万业企业，旗下凯世通凭借多年迭代积累的深厚技术优势取得了重大进展。2021年5月，凯世通自主研发的首台低能大束流离子注入机率先在国内12英寸主流集成电路芯片制造厂完成设备验证和验收工作，这也是国内首台完成主流客户验证并确认收入的国产低能大束流设备。2021年第四季度，凯世通的低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机成功通过验证和验收，高能离子注入机顺利在另一家12英寸集成电路芯片制造厂完成交付。2022年一季度，凯世通获得重要客户的批量订单，包含12英寸低能大束流离子注入机和低能大束流超低温离子注入机，并与另一家集成电路制造厂签订了一台低能大束流离子注入机订单，截止目前在手订单金额超人民币6.80亿元。2022年4月，凯世通成功向重要客户交付了批量订单中的首批大束流离子注入机，完成了多套设备的顺利发货，业务正式进入放量新阶段。

国内半导体设备行业穿越周期，长期成长属性无虞。一方面国内半导体设备厂商坚持高研发投入，基本在15％以上，助力技术追赶；另一方面，国内企业发展初期下高研发投入导致国内厂商净利率较低，随着企业经营规模扩大，规模效应显现，盈利能力有望进一步提升，业绩弹性进一步释放。我们认为，未来随着半导体产业向中国大陆转移，行业层面政策催化、终端国产化带动供应链重塑、上游零部件国产化进程加速将促进半导体产业链集群协同发展，公司层面持续高研发下内生技术突破，叠加外延手段将成为国内半导体设备厂商长期成长的重要推手，国内半导体设备厂商有望迎来业绩加速提升阶段。

券商投资建议与投资标的
建议关注国内半导体设备及零部件领先企业芯源微、拓荆科技、富创精密、北方华创、中微公司、精测电子、华海清科、万业企业、盛美上海、至纯科技等。