异动
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无名小韭37901120
2023-09-10 09:26:47
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@牛🐮🐮🐮:  该专利提供一种光刻装置,该光刻装置通过不断改变相干光形成的干涉图样,使得照明视场在曝光时间内的累积光强均匀化,从而达到匀光的目的,进而也就解决了相关技术中因相干光形成固定的干涉图样而无法匀光的问题。 该光刻装置包括相干光源 1、反射镜 2 ( 也可以称为去相干镜&nb
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