异动
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地球村委员
2024-05-30 13:34:34
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@大力水手: 多重曝光技术是指在现有的光刻机精度下,依次使用不同的掩膜版,分别进行两次及以上的曝光,将一次曝光留下的介质层作为二次曝光的部分遮挡层。在此过程中,由于多重曝光增加了多道薄膜沉积工序,需要薄膜技术具有接近 100%的保型性、薄膜厚度控制精准,因此 ALD 技术被迅速推广应用。微导纳米公司回答表示,尊敬
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