半导体清洗设备+晶圆 1、公司清洗设备产能150-200台。公司高纯工艺系统产品内容包括电子气体化学品的专用处理设备、整厂气化集成服务及相关专有服务及材料；适用于包括核心工艺工序段，例如光刻等环节。 2、公司在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，是国内首条投产的12英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线。