刺绣花
2023-10-31 02:52:47
谢谢，辛苦了！！！
@小蜗牛：
（1）公司半导体臭氧设备可用于半导体清洗，助力产业链国产化。臭氧工艺被广泛应用于半导体各工艺环节的清洗。在光刻环节，VOS工艺（高浓度臭氧气体和气化水混合）可替代传统SPM（过氧化硫混合物）清洗工艺。（2）公司已突破半导体臭氧设备核心技术，性能可对标海外龙头MKS。当前产品已送样北方华创
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