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2024-09-18 22:43:41
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@韭旱逢甘霖:
GKJ节选某卖方点评的部分内容:1)理论上通过多重曝光可以达到28nm,但考虑到套刻精度只有8nm,远低于1980i 的1.6nm,多重曝光存在较大误差,量产用于生产制造28nm的概率较低。2)该卖方从产业调研了解到,浸没式GKJ机台已经在下游晶圆产线上做相关测试验证。3)该卖方从产业调研了解到,部
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