话不多说，看图看链接。

稳态微聚束光源研发岗位招聘信息-清华大学工程物理系 https://www.ep.tsinghua.edu.cn/info/1004/2971.htm

下一代先进  光刻光源

 再来一波半导体产业联盟的文章。

清华大学研究光刻机核心难题取得突破！ 

其他资料别的老师写的够多了……

 该文报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”（Steady-state microbunching，SSMB）的首个原理验证实验基于SSMB原理，能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射，波长可覆盖从太赫兹到极紫外（EUV）波段，有望为光子科学研究提供广阔的新机遇。

《自然》评阅人对该研究高度评价，认为 “展示了一种新的方法论”，“必将引起粒子加速器和同步辐射领域的兴趣”。《自然》相关评论文章写到“该实验展示了如何结合现有两类主要加速器光源——同步辐射光源及自由电子激光——的特性。

这波光刻工厂方案媒体发酵，国家相关单位没出来否认，相关公司也是三缄其口。

海外媒体安静如鸡，没有像以前那样自信满满出来嘲讽！

反正懂得都懂!