蚂蚁先生
2024-09-20 00:59:05
@韭旱逢甘霖：
GKJ节选某卖方点评的部分内容：1）理论上通过多重曝光可以达到28nm，但考虑到套刻精度只有8nm，远低于1980i 的1.6nm，多重曝光存在较大误差，量产用于生产制造28nm的概率较低。2）该卖方从产业调研了解到，浸没式GKJ机台已经在下游晶圆产线上做相关测试验证。3）该卖方从产业调研了解到，部
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