■测试设备：贯穿半导体制造始末，占20%设备投资额。半导体检测设备主要用于半导体制造过程中检测芯片性能与缺陷，几乎每一步主要工艺完成后都需要进行，贯穿于半导体生产过程中，广义上根据测试环节分为前道测试和后道测试设备。根据Semi及Gartner统计，半导体前道测试设备一般在半导体设备支出中占比11~13%，后道测试设备占比8~9%，合计占比约20%，根据此值估算，2020年全球半导体设备总市场规模约712亿美元，按12%与8.5%测算，前道测试设备市场约86亿美元，后道测试设备市场约61亿美元，合计147亿美元，目前前道设备国产化率不足1%，后道设备国产化率不足10%，国产替代空间接近百亿美元，且随着半导体设备市场进入扩张周期，前后道设备需求均将显著受益。

■前道测试：科磊（KLA）高度垄断，量测领域国产替代较快。前道量检测设备注重过程工艺监控，根据功能的不同分为两种设备：一是量测类，二是缺陷检测类。其中根据科磊及Semi统计，我们取半导体前道测试设备占比10.5%，按照Semi最新预计2020年/2021年半导体设备总市场分别为632亿及704亿美元估算，我们预测2020年/2021年全球半导体前道检测设备市场空间分别达到66.37/74.01亿美元，国内市场分别达到19/20.9亿美元，约为123.5/135.9亿元人民币。其中检测类占比55%，量测类占比38%。目前科磊市占率达52%，呈垄断地位，国内上海精测、中科飞测、上海睿励等部分产品已实现批量销售，我们判断前道设备中，国产替代将从量测设备开始，并逐渐向检测等难度较高领域延伸。

■后道测试：泰瑞达（Teradyne）及爱德万（Advantest）为全球龙头，细分领域已逐步实现国产替代。后道测试设备注重产品质量监控，可分为测试机、分选机、探针台，根据Semi数据，三者价值量分别占比63.1%、17.4%、15.2%。根据VLSI Research 预计，受益于SoC及存储需求强劲以及封测、晶圆厂资本开支加剧将继续维持高景气，2020年市场空间达61亿美元，同比增长10%，2021年将继续保持10%的同比增速，预计将达69亿美元。根据赛迪顾问，国内后道测试设备市场2020年将达到64亿元，根据同等比例测算，2021年市场空间有望达70.4亿元。目前泰瑞达及爱德万为全球龙头，但在模拟/混合类测试领域国内已逐步实现国产替代，目前华峰测控已推出STS8300测试机，进入SoC测试领域，长川科技相关产品也正在研发中，SoC测试机相比模拟/混合测试机市场规模将有4-5倍的提升，替代空间上限将被打开。

■投资建议：重点推荐华峰测控（测试设备），建议关注长川科技（测试设备、分选机、探针台）、精测电子（量测及测试设备）。

■风险提示：市场竞争加剧，国产化进程不及预期