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努力思考
2023-04-18 14:45:04
@投研掘地蜂:
ASML不同浸没式光刻机在高端芯片生产上表现如何? 1980Di光刻机至少能做到7nm逻辑工艺(详见上条观点汇报),那么具体表现如何?回顾历史,台积电2015年量产16nm工艺,2016年量产10nm工艺,2018年量产7nm工艺;产业链调研表明,采用ASML 1980Di光刻机,TSMC 1
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