光刻机是半导体制造中的关键设备,其供应链涉及多个环节,包括光源系统、光学器件、洁净设备、温控系统、物镜系统、控制器和结构件等。以下是一些光刻机供应链中的关键参与者和相关信息:
一、光刻机整机制造商:
上海微电子:在**浸没式光刻机研发上取得重大突破,预计年底向市场交付国产第一台**光刻机设备,国内光刻机龙头企业,涉及光刻机整机制造。
张江高科:通过子公司持有上海微电子10.78%的股份。
上海电气:母公司为上海微电子的第一大股东。
二、光源系统:
波长光电:提供光刻机平行光源系统,。
福晶科技:全球最大的LBO、BBO非线性光学晶体生产商,中科院旗下公司,光刻机的中坚力量,间接供货荷兰ASML公司光刻机激光光源晶体。
苏大维格:向微电子提供光刻机用的定位光栅产品。
炬光科技:提供光刻机曝光系统核心元器件光场匀化器。
苏大维格:光栅供应商
沃格光电:光栅供应商
天准科技:对准设备供应商
磁谷科技:分子泵、氦气冷却供应商,单机价值量最高的标的之一
三、光学器件:
腾景科技:公司产品为合束器,分束器,目前小批量导入阶段,主要客户为国内大型芯片生产企业,多波段合分束器已进入微电子供应链。
茂莱光学:提供精密光学器件,DUV光学透镜给上海微电子供货。
京华激光:控股的美国菲涅尔制版科技在光刻机微结构光学方面实力较强。
福光股份:已经进入**,后续光学部件可展望单机价值量千万以上。
永新光学:量测系统光学元件供应商,已进入**。
四、洁净设备:
蓝英装备:精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户。
美埃科技:提供最高洁净等级标准的设备。
四、温控系统:
海立股份:为上海微电子的相关设备提供冷却配套系统,已实现供货,微电子装备集团的系统级合作商。
同飞股份:液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制。
五、物镜系统:
赛微电子:光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。
联合光电:物镜供应商,已获得上海微40台后道line线光刻机订单。
六、控制器:
电科数字:子公司可供货光刻机控制器。
七、结构件:
富创精密:半导体设备精密零部件厂商,结构零部件基板、冷却板等产品应用于光刻机,解决了包括光刻机中的光刻主机板、微动框架等制造技术。
正帆科技:基于工艺介质系统,在努力拓展MRO(维修、维护、运行服务)、特种气体(磷烷、砷烷等等)、半导体零部件(气柜模组Gas Box)等业务。
新莱应材:新莱应材产品真空阀门供货上海微电子。
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