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无名小韭99631222
2025-01-03 18:33:05
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@凌晨十二点:  本发明涉及砷化镓芯片激光加工装置及方法,激光器输出端依次布置有扩束镜和空间光调制器,空间光调制器的输出端依次设置有第一透镜、第一反射镜和第二透镜,第二透镜的输出光路上布置有第二反射镜,第二反射镜的反射光路上布置加工物镜,加工物镜正对于运动平台上的砷化镓芯片;激光器输出的光束经过扩束镜将光
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