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无名小韭06670108
2023-03-12 19:11:06
谢谢
@踏浪修行王地瓜:
薄膜沉积是芯片制造的核心工艺环节,薄膜沉积设备是芯片生产核心设备,设计制造技术难度大,产业化验证周期长。由于薄膜是芯片结构的功能材料层,在芯片完成制造、封测等工序后会留存在芯片中,薄膜的技术参数直接影响芯片性能。在晶圆制造过程中,薄膜起到产生导电层或绝缘层、阻挡污染物和杂质渗透、提高吸光率、临时阻挡
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