招标情况:
- 2023年4月,上海积塔、华虹半导体、润鹏半导体、新异半导体等企业共招标743台设备,较3月的321台增加了131.46%。- 招标设备类型及数量:光刻设备9台,刻蚀设备37台,薄膜沉积23台,工艺检测53台,离子注入3台,CMP 23台,清洗设备21台,涂胶显影13台。- 上海积塔是新增设备招标的主要企业,招标数量为494台,其他企业的招标数量较少。中标情况:
- 2023年4月,北方华创、盛美上海、精测半导体、应用材料、东京电子等企业共中标86台设备,较3月的129台减少了33.33%。- 中标设备类型及数量:刻蚀设备5台,薄膜沉积6台,工艺检测14台,离子注入15台,CMP 1台,热处理5台,清洗设备11台。- 国内设备厂商中标34台设备,占比约为39.53%;国外设备厂商中标52台设备,占比约为60.47%。- 应用材料、东京电子、KLA是中标设备数量较多的国外设备厂商,其中应用材料中标了17台设备。特殊情况:
- 上海积塔在特色工艺项目方面进行了大规模招标,4月设备招标数量远高于3月,增长了128.7%。- 北方华创和应用材料的中标数量在4月有明显的变化,分别较3月减少和增加了较多的设备中标数。以上是根据提供的资料对招标和中标情况进行的总结归纳。
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