伏陆生
全梭哈的龙头选手
2023-09-17 05:03:55
光刻机深度报告，值得一看。
@柴尔德：
省流总结：光刻机里发生了？1.光掩模、透镜组和硅片工件台会精密对准和调平2.光源放光3.移动工件台◼ 光刻为IC制造核心工艺，光刻技术的演进成就了摩尔定律。光刻工艺占IC制造1/2的时间+1/3的成本，在瑞利公式：𝐶𝐷 = 𝑘1𝜆/𝑁𝐴 的指导下，人类在缩短波长𝜆，增大数值孔径NA，降
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