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无名小韭01631118
2023-10-31 15:15:03
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@曼巴精神:
张江高科凭借着持股上微电子,已经斩获了四个涨停板光刻机不管是DUV还是EUV,最难的就四大块:光源系统、反射镜系统、双工件台、最后到整机集成光刻机由三大核心系统,数万个零件组成,是产业链各环节顶尖公司通力合作的成果。1)光源方面,DUV采用准分子激光器,技术掌握在Cymer和Gigaphoton手中
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