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【复旦大学魏大程团队研发半导体性光刻胶 实现特大规模集成度有机芯片制造】
据证券时报,记者最新从复旦大学获悉,复旦大学高分子科学系、聚合物分子工程国家重点实验室魏大程团队设计了一种新型半导体性光刻胶,利用光刻技术在全画幅尺寸芯片上集成了2700万个有机晶体管并实现了互连,在聚合物半导体芯片的集成度上实现新突破,集成度达到特大规模集成度水平。未来,这种材料一方面能够用于制造高集成度柔性芯片,另一方面由于其光刻兼容性,还有可能实现有机芯片与硅基芯片的功能集成,进一步拓展硅基芯片的应用。”团队负责人魏大程说。
检索上市公司公告,发现:
唯一一家合作复旦大学的光刻胶:
公司产品193nm光刻胶单体研发项目取得国家02重大专项的光刻胶项目,并与中科院微电子所、复旦大学微电子学院合作,建立了国内第一家光刻技术研究中心。
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