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2024-09-04 21:25:17
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@司南磁山:
SAQP是华为这次突破的核心,多重曝光就是将芯片电路掩膜图案的蚀刻分成多次完成,可以使用相对落后的技术和设备,达成和更先进工艺类似甚至更先进的结果。 华泰证券研报指出,在多重曝光光刻工艺,增量最大的是半导体
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