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抄底毁一生啊
2022-08-12 21:40:21
逻辑不错关注先
@调研纪要:
TOPCON电池主要分LPCVD,PECVD,PVD三种路线,步骤在12步左右。制绒(捷佳伟创,金舟)。硼扩(拉普拉斯做的最好,北方华创,捷佳伟创也会做),背面碱抛光(捷佳伟创,金舟)。背面隧穿氧化层和多晶硅层沉积(LPCVD,PECVD,PVD三种路线),LPCVD先通过热氧化方式长1-1.5nm
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