1、公司表示在布局上和友商的设备有所不同，可以展开说一下吗？其次请问公司这个PECVD的设备镀的膜材质和友商的设备有什么区别吗？

答：首先第一点，该设备的Iayout和友商设备不同，第二点，公司设备的差异化 腔体设计有自主知识产权申请保护，这样可以保证薄膜的良好的均匀性，应力可 控，较少的颗粒。

2、请问公司是否会开发不同的薄膜沉积工艺？

答：是的，从核心技术上来说，我们可以覆盖大多数类型的薄膜。

3、 请问1-3个腔体和4-5分别针对的是薄膜和厚膜的沉积，这能大致对应到具体 的工艺环节上吗？ 1-3针对哪个环节，4-5针对哪个环节？

答: PECVD有些工序时间长，有些工序时间短，我们会根据PECVD具体所属工 艺长短来设计配备腔体的多少，有些膜需要很多层比较厚，所需时间长，需要腔 体就多，单层较薄，需要时间短，腔体就少。我们主要做的是优化性价比并同时 满足客户端的要求，二者共同决定腔体配置问题。补充一点，公司这个设备未来 是要做PECVD的大部分工艺。

4、 如果大部分覆盖的话，对应的存储、逻辑都会覆盖相应客户，请问明后年还 会按照增加更多客户验证的进度发展吗？其次请问公司这项设备真正制造是以海 外零部件为主吗？

答:我们的PECVD可以覆盖存储及逻辑客户，明年会推出多种膜的PECVD，在 客户端进行验证。部分PECVD的核心零部件来自海外的供应链。

5、请问明年能覆盖的市场有多大？

答:明年希望有多台设备和多个客户进行合作，用并行的方式对工艺进行并行验 证，同时看与客户的合作进度。如果合作顺利的话，希望能覆盖30%到50%，然后再继续发展。

6、PECVD研发团队情况能介绍一下吗？和track方面是否有联系，后续团队情 况如何？

答：团队是公司早年到上海后培养的核心团队，过去做的清洗设备研究、镀铜设 备研究等，禾和PECVD都是相通的。此外公司在PECVD方面还有一些原始团队储 备，并且这个团队还加入了一些韩国团队和客户端团队。特别提一点，团队成员 没有从竞争者过来的，这是为了确保专利不被污染。

7、请问公司研发费用比例是否像美股一样保持在16%-17%左右，还是会继续 增加？

答:今年研发费用比例在14%-16%之间，未来还是保持这个比例，纟继卖延续少 花钱多干事的原则。研发是一个长期过程，研发比例是平稳的，但后面研发经费 的绝对值会逐渐增加。并且公司研发费用使用较为节省，主要原因在于设备从研 发到客户端验证时间越短，研发费用越低。减少研发费用的关键在于尽快让产品 得到验证并进入市场。

8、请问国产零部件在整体的占比情况？请问哪些零部件是比较难实现国产化的？

答:主要是一些阀，如真空阀、真空泵等，这些公司也在做一些应对工作。此外 机械手也是重要的一块，目前这个部分是找韩国一家核心供应商做的。未来公司 还会持续发展追求多样化，争取拥有自己的特点。核心的机械手请几家公司来 做，一般的常用的机械手可以开放地选择供应商。

9、请问公司PECVD是海外和国内市场一起推吗?

答：这个设备本身就是中韩两方一起研发的，因此韩国也是公司海夕b推广的第一 个选定区域。并且海外客户和国内客户都很重要，所以希望这个设备推出后不光 是在国内进行验证，也争取在国外进行验证，毕竟海外客户的技术节点相对更先 进一点。我们也希望海外企业在早期的先进节点上能采用我们的技术，在后期进 行量产的时候，公司设备能进入量产线。此外未来一些beta状态的设备也会同 步推向海b卜，这会比较有难度，但公司的工艺和设备都有自己的特点，和国外大 公司相比有技术差异化，竞争力是有的。

10、PECVD设备目前的国产化率是多少，未来会朝着什么目标发展？

答：目前部分采用进口零部件，同时国产零部件供应商也在开拓中，有些国产零 部件也会逐步试用起来，相信在不远的将来公司核心零部件也会替换为国产产 品，但这需要一个过程。一些要求不算太高的可以尝试采用国产零部件，当国产 零部件还不能完全胜任要求时会优先采用进口的。

11、请问公司清洗设备和至纯科技相比有哪些区别？优劣势？友商在清洗设备 这块追的很紧。

答:我们一般不评价友商。盛美清洗设备经过多年打磨，现阶段在国内属于清洗 设备的龙头地位，此外公司还在研发两款最新的技术，IPA和更核心的超临界 CO2干燥技术。这个技术目前全世界只有三家公司拥有，公司还对这个专利进 行了整体分析，认为每家专利的方向都不一样，公司有自己独立的专利。与此同 时，超临界CO2干燥技术的研发已经到了快出成果的阶段了。这个技术的研发 成果也代表了盛美的实力，从最初的概念产生到最后机器的完成都是存在差异化 的，这些差异也让盛美有信心进入全球市场。超临界CO2技术和TEBO超声波结 合叫做3D清洗的黄金组合，TEBO全世界只有我们公司能专门把深孔和一些较脆 组织里面的颗粒洗出来再结合超临界CO2来干燥，这款设备运用范围也很广, 也属于差异化设备。这些差异化产品希望未来不光是进入国内市场，也希望进入全球市场。现阶段公司产品分布按照统计来看，在这个细分市场上，覆盖了清洗 设备的90%，未来也不止于这个范围。公司更希望用差异化技术服务全球客 户，争取在国内市场占比50%左右。至于竞争对手，真正的竞争对手是盛美自 己，公司要把自己的事情做好。

12、公司提到PECVD设备明年可能会做一些海外的拓展，请问这块会有没有一 些目标市场，比如韩国有一些公司的研发团队，那是否会较快的在韩国实现客户 端落地呢？

答：设备目标对应的全球客户，包括国内。现阶段这一台设备肯定是国内客户。 韩国方面，公司在韩国有一些研发和生产，并且公司和海力士有过往渊源。公司 也希望能靠差异化技术尽快进入它的核心工艺线，但不能保证明年做到。其实全 球的客户需要的都是最好的技术，如果公司差异化方案能让客户感兴趣，那就是 有希望的。现阶段公司已经有专利的布局和设计的底蕴在，也希望能得到国际客 户的认可，早日进入国际客户进行验证。

13、目标市场定位在中高端市场，请问从长远规划来看，设备的毛利率还是维 持在45%左右的目标吗，还是说有更大的提升空间？

答: PECVD的价格不同，毛利也不同，现阶段还是在40%-45%之间，在未来随着技术的进一步提升和客户的认可，可能提升到45%-50%区间。