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2023-03-16 18:03:16
国产光刻机的重大突破20230316
@修仙小锦鲤：
上海微电子推出了28nm的demo了吗，具体情况怎么样?是的。1月份通过K技部验证，2月份发往客户,具体用于多少nm的产线不清楚,去年从知情人士得知28nm的demo需要24年年底才能推出，为什么提前这么早推出?先前K技部验证失败了几次，问题主要出在工件台、传输的稳定性，光的均匀，以及其他零部件的稳
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